多晶硅生產(chǎn)中需要什么樣的廢氣治理設(shè)備

 

在多晶硅生產(chǎn)中，會(huì)產(chǎn)生廢氣和殘液。目前，我***的廢氣治理設(shè)備已較為先進(jìn)，以往的處理技術(shù)已提高到更高的水平。

 

 

 

多晶硅是太陽(yáng)能和微電子工業(yè)的關(guān)鍵原料。隨著我***太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)的***發(fā)展，對(duì)多晶硅的需求日益增加。目前，多晶硅技術(shù)十分活躍。主要有西門(mén)子法、冶金法、等離子體法、硅烷法、流化床法、熔鹽電解法、無(wú)氯技術(shù)等。

 

西門(mén)子法通過(guò)氣相沉積法制備柱狀多晶硅。為提高原料利用率，采用閉環(huán)生產(chǎn)工藝。改進(jìn)后的西門(mén)子工藝生產(chǎn)的多晶硅約占世界多晶硅產(chǎn)能的80%。

 

 

***內(nèi)外對(duì)西門(mén)子法制備高純多晶硅的研究較多。例如，張宇等人通過(guò)催化化學(xué)氣相沉積法制備了多晶硅薄膜。

 

采用m. m. dahl等對(duì)流化床中多晶硅的微觀結(jié)構(gòu)和顆粒生長(zhǎng)進(jìn)行了研究。此外，多晶硅的生產(chǎn)工藝包括碳熱還原法、區(qū)域熔融法等。碳熱還原法是利用高純碳還原硅生產(chǎn)多晶硅，區(qū)域熔融法是利用金屬定向凝固原理將金屬級(jí)硅提純到太陽(yáng)能級(jí)硅。

 

廢氣及殘液處理

在多晶硅的制備過(guò)程中，產(chǎn)生了***量的廢氣和廢液。***內(nèi)***部分裝置通常先用水水解，然后用氫氧化鈉中和廢氣治理設(shè)備和殘液處理。